B1500A Agilent Semiconductor Device Parameteranalysator/Halbleitercharakterisierungssystem-Mainframe

B1500A Agilent Semiconductor Device Parameteranalysator/Halbleitercharakterisierungssystem-Mainframe

Der Halbleitergeräteanalysator Keysight B1500A (Agilent) ist ein modulares Gerät mit einer Konfiguration mit zehn Steckplätzen, das sowohl IV- als auch CV-Messungen sowie schnelle Hochspannungsimpulse unterstützt.

  • Produkteinführung

Übersicht und Funktionen

Der Halbleitergeräteanalysator Keysight B1500A (Agilent) ist ein modulares Gerät mit einer Konfiguration mit zehn Steckplätzen, das sowohl IV- als auch CV-Messungen sowie schnelle Hochspannungsimpulse unterstützt. Seine vertraute Microsoft® Windows®-Benutzeroberfläche unterstützt die EasyEXPERT-Software von Agilent, die einen neuen, intuitiveren aufgabenorientierten Ansatz zur Gerätecharakterisierung bietet. Aufgrund seiner extrem niedrigen Stromstärke, Niederspannung und integrierten Kapazitätsmessfunktionen kann der Keysight B1500A (Agilent) für ein breites Spektrum von Anforderungen an die Charakterisierung von Halbleiterbauelementen eingesetzt werden (IC-CAP unterstützt den B1500A). Es ist auch eine hervorragende Lösung für die Charakterisierung nichtflüchtiger Speicherzellen und die Charakterisierung von Hochgeschwindigkeitsgeräten (einschließlich erweiterter NBTI-Messung).

 

Zu den Merkmalen und Vorteilen des Keysight B1500A (Agilent) gehören:

● Überlegene IV-Messleistung: {{0}},1 fA / 0,5 µV Messauflösung

● Zu den Messfunktionen gehören Einzel- und Mehrkanal-Sweep, Zeitabtastung, Listen-Sweep, quasistatischer CV (unter Verwendung der SMUs), direkte Steuerung und grafische Benutzeroberfläche zur Generierung beliebiger linearer Wellenformen (ALWG) für die HV-SPGUs.

● Das optionale integrierte Kapazitätsmodul unterstützt CV-Messungen bis 5 MHz

● Optionale, auf Stellungsreglern basierende CV-IV-Schaltlösungen mit einer Spannungsmessauflösung von 0,5 µV und einer Strommessauflösung von 10 fA, 1 fA oder 0,1 fA

● Einfache Testautomatisierung mit integrierten halbautomatischen Wafer-Prober-Treibern und Testsequenzierung ohne Programmierung über den Schnelltestmodus

● Optionale Hochspannungs-Halbleiter-Impulsgeneratoreinheit (HV-SPGU) mit programmierbaren Impulsbreiten von 10 ns und einem Ausgang von plus /- 40 V (80 V Spitze-zu-Spitze).

● Optionaler Wellenformgenerator/Schnellmesseinheit (WGFMU), erhältlich mit ALWG und schnellen Strom- oder Spannungsmessfunktionen.

● Für die Charakterisierung von High-k-Gate-Dielektrika und SOI-Transistoren (Silizium-auf-Isolator) steht eine gepulste IV-Lösung mit 10 ns zur Verfügung.

● Ein klassischer Testmodus ist verfügbar, um das Erscheinungsbild, die Funktionsweise und die Terminologie der 4155/4156-Schnittstelle bereitzustellen und gleichzeitig die Benutzerinteraktion zu verbessern, indem die GUI-Funktionen von Microsoft® Windows® voll ausgenutzt werden

Zu den wichtigsten Spezifikationen des Halbleitergeräteanalysators Keysight B1500A (Agilent) gehören:

● Allgemeine Funktionen

o PC-basiertes Instrument mit Windows® XP Professional-Betriebssystem

o Single-Box-Lösung für Strom-Spannung (IV), Kapazität-Spannung (CV), Impulserzeugung, schnelle IV und Zeitbereichsmessung.

o Zehn Modulsteckplätze für Source Monitor Units (SMUs) und andere Modultypen (MFCMU, HV-SPGU und WGFMU) *

o Offline-Datenanalyse und Anwendungstestentwicklung über die Desktop-EasyEXPERT-Software

● Messmöglichkeiten

o Unterstützt Strom-Spannungs-Messungen (IV) bis 0,1fA und 0,5µV

o Unterstützt sowohl quasistatische als auch mittelfrequente Kapazitätsspannungsmessungen (CV) ]

o Unterstützt genaue schnelle IV- und Zeitbereichsmessungen für eine Vielzahl von Anwendungen wie gepulste IV-, NBTI- und RTS-Messungen.

o Unterstützt die Erzeugung von Hochspannungsimpulsen (bis zu ±40 V) zum Testen von Hochleistungs- und Speichergeräten.

 

Leitfaden zur Modulauswahl:

Modul Haupt

Schlüssel

Spezifikation

B1510A HPSMU

2

Bis zu 200 V, 1 A Kraft. 10fA Stromauflösung

B1511A MPSMU

1

Bis zu 100 V, 100 mA Kraft, 10 fA Stromauflösung

B1517A HRSMU

1

Bis zu 100 V, 100 mA Kraft, 1 fA Stromauflösung

E5288A ASU

N / A

Bis zu 100 V, 100 mA Kraft, 100 aA Stromauflösung

B1520A MFCMU

1

1 kHz bis 5 MHz, bis zu 100 V DC-Vorspannung mit SMU

B1525A HV-SPGU

1

Mindestens 12,5 ns Impulsbreite, 10 ns Übergangszeit, bis zu 40 V mit 3-Pegel-PU

B1530A WGFMU

1

Mindestens 100 ns Impulsbreite, 10 V Spitze-zu-Spitze-Ausgang, 5 ns Strom- oder Spannungsmessungs-Abtastgeschwindigkeit

 

 

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